Εσωτερικό Dia 123mm υψηλή πυκνότητα στόχων ανοξείδωτου

OD150*ID123*1091 ανοξείδωτο 304 στόχος σωλήνων ανοξείδωτου

Υλικά στόχων στη βιομηχανία ημιαγωγών. Τα υλικά ημιαγωγών μπορούν να διαιρεθούν σε υλικά γκοφρετών και υλικά συσκευασίας. Τα υλικά συσκευασίας έχουν τα χαμηλότερα τεχνικά εμπόδια έναντι των υλικών κατασκευής γκοφρετών. Υπάρχουν επτά τύποι υλικών και χημικών ουσιών ημιαγωγών που περιλαμβάνονται στην παραγωγή γκοφρετών, μια από την οποία ψεκάζει τα υλικά στόχων. Το υλικό στόχων είναι ένα που βομβαρδίζω από χρεωμένα τα μεγάλη ταχύτητα μόρια. Με την αλλαγή των διαφορετικών υλικών στόχων (όπως το αργίλιο, ο χαλκός, το ανοξείδωτο, το τιτάνιο, οι στόχοι νικελίου, κ.λπ.), τα διαφορετικά συστήματα ταινιών (όπως οι wear-resistant, αντιδιαβρωτικών κραμάτων ταινίες superhard, κ.λπ.) μπορούν να ληφθούν.

Η αγνότητα είναι ένας από τους κύριους δείκτες απόδοσης του υλικού στόχων, επειδή η αγνότητα του υλικού στόχων έχει μια μεγάλη επιρροή στην απόδοση της ταινίας. Αλλά στην πράξη, οι απαιτήσεις αγνότητας των υλικών στόχων είναι επίσης διαφορετικές. Οι ακαθαρσίες στα στερεά υλικά και το οξυγόνο και το υδρατμό στους πόρους είναι οι κύριες πηγές απόθεσης ταινιών. Προκειμένου να μειωθεί το πορώδες του στερεού υλικού στόχων και να βελτιωθεί η απόδοση της επιμετάλλωσης της ταινίας, το υλικό στόχων απαιτείται συνήθως για να έχει μια υψηλή πυκνότητα. Η πυκνότητα είναι επίσης ένας από τους βασικούς δείκτες απόδοσης των υλικών στόχων. Η πυκνότητα του υλικού στόχων έχει επιπτώσεις όχι μόνο στο ποσοστό επιμετάλλωσης αλλά και τις ηλεκτρικές και οπτικές ιδιότητες των λεπτών ταινιών. Όσο υψηλότερη η πυκνότητα στόχων, τόσο καλύτερη η ταινία που διαμορφώνει την απόδοση. Επιπλέον, η πυκνότητα και η δύναμη του υλικού στόχων μπορούν να βελτιωθούν με την κατασκευή του υλικού στόχων να αντισταθεί τη θερμική πίεση καλύτερη κατά τη διάρκεια της επιμετάλλωσης.