1 μm μέταλλο φίλτρα για την εξαγνιστική διαδικασία αερίων σε ημιαγωγούς --- κατασκευή πλακών με έλεγχο AMC

Τύπος προϊόντος: Εξαιρετικά λεπτή ίνα από ανοξείδωτο χάλυβα 316L

Διάμετρος ίνας: 1um/1.5um/2um διαθέσιμη

Μήκος κοπής: 80-100um

Χημική Σύνθεση πρώτης ύλης (Wt%)

Στην κατασκευή ημιαγωγών, η διατήρηση αερίων διεργασίας εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας είναι κρίσιμη για την αποφυγή ελαττωμάτων και τη διασφάλιση υψηλών αποδόσεων. Τα φίλτρα μετάλλου 1μm διαδραματίζουν ζωτικό ρόλο στον καθαρισμό αερίων, αφαιρώντας τους ρύπους σωματιδίων, ενώ παράλληλα συμβάλλουν στον έλεγχο της μόλυνσης από αερομεταφερόμενα μόρια (AMC), που είναι απαραίτητος για την προηγμένη κατασκευή πλακιδίων.

Βασικά Χαρακτηριστικά & Πλεονεκτήματα

Φιλτράρισμα υψηλής απόδοσης (1μm κατακράτηση)

Αιχμαλωτίζει σωματίδια υπο-μικρομέτρων που θα μπορούσαν να προκαλέσουν ελαττώματα στις διεργασίες φωτολιθογραφίας, χάραξης και εναπόθεσης.

Μειώνει τον κίνδυνο μόλυνσης της επιφάνειας των πλακιδίων, βελτιώνοντας την απόδοση.

Χημικά αδρανές & ανθεκτικό στη διάβρωση

Κατασκευασμένο από υψηλής καθαρότητας ανοξείδωτο χάλυβα (316L), νικέλιο ή συντηγμένα κράματα για συμβατότητα με επιθετικά αέρια (π.χ., HF, HCl, NH₃).

Αντιστέκεται στην εκπομπή αερίων, αποτρέποντας πρόσθετη μόλυνση.

Δυνατότητα ελέγχου AMC

Ορισμένα προηγμένα μεταλλικά φίλτρα ενσωματώνουν επεξεργασίες επιφανειών ή επιστρώσεις (π.χ., παθητικοποίηση, ηλεκτροστίλβωση) για την ελαχιστοποίηση της προσρόφησης/εκρόφησης πτητικών οργανικών ουσιών ή οξέων.

Βοηθά στην κάλυψη των SEMI F21 AMC Class 1 απαιτήσεων για ευαίσθητες διεργασίες όπως η λιθογραφία EUV.

Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία & πίεση

Σταθερή απόδοση σε σκληρές συνθήκες (έως 500°C ή υψηλότερη για ορισμένα κράματα).

Κατάλληλο για γραμμές αερίου CVD, διάχυσης και εμφύτευσης ιόντων .

Μεγάλη διάρκεια ζωής & καθαρισμός

Επαναχρησιμοποιήσιμο μετά τον καθαρισμό (υπερηχητικός, χημικός ή θερμικός μέθοδος), μειώνοντας το κόστος ιδιοκτησίας.

Σχεδιασμός χαμηλής πτώσης πίεσης για ενεργειακά αποδοτική ροή αερίου.

Εφαρμογές στην κατασκευή ημιαγωγών

Παράδοση αερίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας (UHP) (N₂, Ar, H₂, O₂, κ.λπ.)

Διεργασίες χάραξης & εναπόθεσης (CVD, PVD, ALD)

Φωτολιθογραφία (περιβάλλοντα EUV/DUV ευαίσθητα σε AMC)

Φιλτράρισμα χύδην αερίου & σημείου χρήσης (PoU)

Γιατί μεταλλικά φίλτρα έναντι εναλλακτικών;

Ανώτερη ανθεκτικότητα έναντι των πολυμερικών φίλτρων (τα οποία μπορούν να υποβαθμιστούν και να αποβάλουν σωματίδια).

Χωρίς απόρριψη ινών σε αντίθεση με τα παραδοσιακά φίλτρα HEPA/ULPA.

Καλύτερη μείωση AMC σε σύγκριση με τα τυπικά φίλτρα σωματιδίων.

Συμμόρφωση & Πρότυπα

SEMI F20 (Έλεγχος Σωματιδίων)

SEMI F21 (Ταξινόμηση AMC)

ISO 14644-1 (Πρότυπα Cleanroom)

Συμπέρασμα

Τα μεταλλικά φίλτρα 1μm είναι μια στιβαρή λύση για τον καθαρισμό αερίων ημιαγωγών, συνδυάζοντας φιλτράρισμα σωματιδίων, έλεγχο AMC και χημική αντοχή για την κάλυψη των αυστηρών απαιτήσεων της προηγμένης κατασκευής πλακιδίων.